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氧含量对Nb掺杂TiO2透明导电薄膜结构与性能的影响
氧含量对Nb掺杂TiO2透明导电薄膜结构与性能的影响
来源 :第十五届全国固体薄膜学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:niyon
【摘 要】
:
Nb掺杂TiO2(NTO)薄膜是一种新型的透明导电材料,由于其性能稳定、价格低廉,具有宽禁带、可见光透过率高、电阻率低等特性,所以有望替代需大量消耗稀有金属In的ITO薄膜材料。
【作 者】
:
辛荣生
林钰
【机 构】
:
郑州大学材料科学与工程学院 河南教育学院化学系
【出 处】
:
第十五届全国固体薄膜学术会议
【发表日期】
:
2016年5期
【关键词】
:
含氧量
Nb掺杂
TiO2薄膜
结构
光电性能
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Nb掺杂TiO2(NTO)薄膜是一种新型的透明导电材料,由于其性能稳定、价格低廉,具有宽禁带、可见光透过率高、电阻率低等特性,所以有望替代需大量消耗稀有金属In的ITO薄膜材料。
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