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薄膜厚度对四面体非晶碳薄膜结构和性能的影响

来源 :粤港澳大湾区真空科技与宽禁带半导体应用高峰论坛暨2017年广东省 | 被引量 : 0次 | 上传用户：coppi

【作 者】

：

李玉婷  代明江  李洪  林松盛  侯惠君  石倩  韦春贝 

【出 处】

：

粤港澳大湾区真空科技与宽禁带半导体应用高峰论坛暨2017年广东省

【发表日期】

：

2017年12期

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