【摘 要】
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本文报道了纳米金刚石薄膜场电子发射的实验结果。纳米金刚石薄膜是由微波等离子体化学气相沉积在钼衬底上制备而成的。借助于X射线衍射（XRD），观察到金刚石（111）面的宽峰结构。根据（111）面衍射峰的线宽计算出金刚石的平均颗粒大小约为48nm。利用扫描电子显微镜（SEM）对薄膜表面形貌进行了观察。显示出金刚石颗粒的平均大小约为40nm。由XRD的线宽计算得到的颗粒大小与SEM的观察结果基本符合。Ra
【机 构】
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郑州大学物理系及河南省基础及应用科学研究所（郑州） 郑州航空工业管理学院（郑州）
【出 处】
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第七届中国真空微电子学与场致发射学术年会
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本文报道了纳米金刚石薄膜场电子发射的实验结果。纳米金刚石薄膜是由微波等离子体化学气相沉积在钼衬底上制备而成的。借助于X射线衍射（XRD），观察到金刚石（111）面的宽峰结构。根据（111）面衍射峰的线宽计算出金刚石的平均颗粒大小约为48nm。利用扫描电子显微镜（SEM）对薄膜表面形貌进行了观察。显示出金刚石颗粒的平均大小约为40nm。由XRD的线宽计算得到的颗粒大小与SEM的观察结果基本符合。Raman光谱给出了两个宽带结构，其峰值分别位于1332cm＜’-1＞和1580cm＜’-1＞处。我们认为1332峰相应于纳米金刚石相，而1580峰相应于sp＜’2＞石墨相。利用该薄膜作为阴极，在10＜’-4＞pa真空系统内进行了场发射实验，测定了Ⅰ-Ⅴ曲线。起始发射电场低于2.4v/μm。在10v/μm的电场下，电流密度约为4mA/cm＜’2＞，发射点密度大于10＜’3＞/cm＜’2＞。
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