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提出了一种基于单元件干涉的用于检测透明介质平整度和均匀性的干涉仪。该干涉仪的核心元件是一个菱形分光棱镜。平面波激光光源的1/2透过介质与直接透过空气的剩余1/2分别入射到菱形分光棱镜的两垂直面并在分光面相遇、相干。
用于透明介质平整度和均匀性测量的单元件干涉仪
【摘 要】
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提出了一种基于单元件干涉的用于检测透明介质平整度和均匀性的干涉仪。该干涉仪的核心元件是一个菱形分光棱镜。平面波激光光源的1/2透过介质与直接透过空气的剩余1/2分别入射到菱形分光棱镜的两垂直面并在分光面相遇、相干。
【机 构】
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四川大学电子信息学院 激光微纳工程研究所,四川 成都 610064 四川大学电子信息学院 激光微纳
【出 处】
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第二十二届全国激光学术会议
【发表日期】
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2016年5期
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