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本文基于分析材料塑性性能的方法，采用有限元方法模拟超纳米金刚石薄膜材料的纳米压痕实验。预估金刚石薄膜的应力－应变曲线作为输入参数，计算薄膜的压力－压深曲线。比较压力—压深的实验和数值计算结果，修正输入的金刚石预估应力—应变曲线，再进行计算。通过反复比较压力—压深的计算和实验结果，不断修正输入的金刚石薄膜预估应力—应变曲线，直到模拟结果与实验结果吻合，最终获得金刚石薄膜的应力—应变曲线。基于得到的应力—应变曲线，模拟了金刚石薄膜在不同摩擦力作用下的划痕实验，得到膜基界面处的剪应力分布，发现膜基界面的剪应力最大处与实验中薄膜起裂位置吻合。给出了薄膜破坏的最大剪应力准则。