【摘 要】
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对比研究了离子注硼发射极n型太阳电池的快速热退火和恒温炉管退火特性.通过TCAD软件模拟和SIMS测试,从理论上研究了硼杂质和团簇缺陷的扩散分布规律.通过少子寿命测试(QSSPC
【机 构】
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中国科学院半导体研究所,北京 100083
【出 处】
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第十四届中国光伏大会暨2014中国国际光伏展览会
论文部分内容阅读
对比研究了离子注硼发射极n型太阳电池的快速热退火和恒温炉管退火特性.通过TCAD软件模拟和SIMS测试,从理论上研究了硼杂质和团簇缺陷的扩散分布规律.通过少子寿命测试(QSSPC)得知,增加热预算将显著提高载流子激活率,降低发射极饱和电流密度.制备了钝化发射极太阳电池,从器件水平上研究了退火条件对电池性能的影响.结果发现利用恒温炉管退火20min的电池效率最优,达到18.85％,而采用更低热预算退火条件的电池性能较差.
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