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介绍了金属薄膜应力和强度的实验研究，着重于测试和评价方法，包括X射线衍射法。基片弯曲激光测试法和有限元纳米压入杂交法；指出薄膜残余力及屈服强度和塑料性硬化指数等参量与薄膜厚度密切相关，一定程度上反映了相对巨大的界面和表面对薄膜变形的制约作用。同时指出温度和变形历程对薄膜力学性能影响很大，因此不能仅以沉积后薄膜的初始态人为薄膜器件设计和使用的依据。