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纳米技术的主要内容其实是为揭示物质的潜在信息和结构潜力。所以，在研制纳米硅薄膜的基础上，把这种新型薄膜应用于场致电子发射传感器件中，是一次有益的尝试。
纳米硅薄膜在场发射传感器件中纳米态结构潜力分析]
【摘 要】
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纳米技术的主要内容其实是为揭示物质的潜在信息和结构潜力。所以，在研制纳米硅薄膜的基础上，把这种新型薄膜应用于场致电子发射传感器件中，是一次有益的尝试。
【机 构】
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北京理工大学
【出 处】
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第一届全国纳米技术与应用学术会议
【发表日期】
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2000年期
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