钽粉的后掺杂

来源 :中国有色金属学会稀有金属冶金学会1996年年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：pigdd

【摘要】

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选用NHHPO等9种掺杂剂进行了钽粉后掺杂的筛选试验。结果表明，NH4H2O4，提高钽粉比容的幅度最大，NaAIO，提高钽粉击穿电压的幅度最大，不同掺磷量的试验表明，掺磷量小于O.03℅时比容增

【作者】

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王向东毛襄萍

【机构】

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有色金属研究总院

【出处】

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中国有色金属学会稀有金属冶金学会1996年年会

【发表日期】

：

1998年期

【关键词】

：

钽粉掺磷比容变化筛选试验击穿电压掺杂剂文选控制

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选用NH<,4>H<,2>PO<,4>等9种掺杂剂进行了钽粉后掺杂的筛选试验。结果表明，NH4H2O4，提高钽粉比容的幅度最大，NaAIO<,2>，提高钽粉击穿电压的幅度最大，不同掺磷量的试验表明，掺磷量小于O.03℅时比容增加迅速；掺磷量大于O.03℅对比容变化平缓，因此掺磷量宜控制在0.03℅以下。

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