GD11-012子孔径拼接检测浅度非球面的研究

来源 :第10届全国光电技术学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chester116
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  子孔径拼接技术可实现无需辅助元件且低成本、高精度地对大口径光学镜面的测量。针对浅度非球面,在用子孔径拼接检测平面和高陡度非球面的基础上,提出了利用圆形子孔径检测浅度非球面的算法。对其数学模型、拼接算法以及检测过程进行分析和探讨。利用37项Zernike多项式拟合浅度非球面,用圆形子孔径进行划分。最后完成子孔径的拼接仿真,验证了数学模型及拼接算法的可行性,同时分析了子孔径的平移、倾斜和随机误差对拼接精度的影响。
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