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采用磁控溅射在CH4与N2气氛下制备了一系列含氢碳膜，通过高分辨透射电镜、Raman光谱、纳米压入仪和UMT摩擦实验机对薄膜结构和摩擦学性能进行了分析，结果表明：随着反应氮气比率的升高，薄膜结构的有序性降低，硬度和弹性恢复能力降低，摩擦系教随之升高。
氮气掺入量对a-CNzH薄膜的结构、力学、及摩擦学性能的影响
【摘 要】
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采用磁控溅射在CH4与N2气氛下制备了一系列含氢碳膜，通过高分辨透射电镜、Raman光谱、纳米压入仪和UMT摩擦实验机对薄膜结构和摩擦学性能进行了分析，结果表明：随着反应氮气比率
【机 构】
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中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室甘肃兰州730000
【出 处】
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2009全国青年摩擦学学术会议
【发表日期】
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2009年5期
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