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本文简述了MEMS传感器的性能及机理，分析了传感器在物联网中的应用，并讨论了MEMS传感器的封装形式。无线传感器网络就是由部署在监测区域内大量的廉价微型MEMS传感器节点组成，通过无线通信方式形成的一个多跳的自组织的网络系统，基于MEMS的微传感技术和无线联网技术为无线传感器网络赋予了广阔的应用前景。这些潜在的应用领域可以归纳为：军事、航空、反恐、防爆、救灾、环境、医疗、保健、家居、工业、商业等领域。