【摘 要】
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本文首先就硅微加速度计、微机械陀螺及MEMS惯性测量组合的研制现状作了一系统的分析.然后对国内研制硅微惯性器件的几个问题(硅基片、惯性器件的性能和尺寸的关系、惯性器件
【出 处】
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2003年惯性仪表与元件学术交流会
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本文首先就硅微加速度计、微机械陀螺及MEMS惯性测量组合的研制现状作了一系统的分析.然后对国内研制硅微惯性器件的几个问题(硅基片、惯性器件的性能和尺寸的关系、惯性器件的基片级检测及新型硅微惯性器件)进行了详细的分析说明.最后指出硅微惯性器件肯定是下一低成本惯性器件的发展方向,优先发展硅微加速度计,同时在适当时候开展硅微陀螺的研制.
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