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用溶胶凝胶方法在普通平板玻璃上制备了二氧化钛薄膜，用X射线光电子能谱(XPS)研究了在不同的涂膜工艺条件下钠离子从玻璃基体扩散到二氧化钛膜表面的相对含量，并用扫描电镜(SEM)观察二氧化钛膜厚，结果表明：当采用涂膜烘干涂膜的循环方法制温膜，最后在520℃左右进行热处理的工艺条件不能有效地增加膜厚及减少钠离子的在膜上的相对含量；而采用涂膜烘干热处理涂膜的循环方法制膜，可以增加膜厚，减少钠离子在膜上的相对含量。