气相缓蚀剂及其应用技术进展

来源 :第十四届全国缓蚀剂学术讨论会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sisi830710
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本文阐述了气相缓蚀剂分子结构和缓蚀机理的研究现状,介绍了国内外气相缓蚀剂技术的发展概况,并对气相缓蚀剂技术的应用形式及评价方法进行了归纳总结,展望了该技术的发展方向.
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