【摘 要】
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Lambda950分光光度计是测试光学薄膜光谱性能的重要手段,其测量方法的选择及仪器参数的设定对光学薄膜光谱性能测量的结果有着重要影响,特别是对精度要求较高的产品尤其重要.
【机 构】
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中国兵器北方电子信息科技集团南京分部 江苏南京211153
【出 处】
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2010微制造技术及数字化工艺学术研讨会
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Lambda950分光光度计是测试光学薄膜光谱性能的重要手段,其测量方法的选择及仪器参数的设定对光学薄膜光谱性能测量的结果有着重要影响,特别是对精度要求较高的产品尤其重要.测量方法选择不当,可能会导致测量结果的严重偏离,影响光学薄膜研制及生产的正常进行.为此对自动调零、增益、狭缝、积分时间、扫描波长间隔等参数进行了较为详细分析,根据各种主要参数对测试结果的影响,分析了减反射膜、一般透射、窄带滤光膜测量要求下参数的设定方法和测试技巧,并通过实际测量的数据进行了说明,达到了较好的测量效果.
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