【摘 要】
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研究了Al2O3掺杂对ZnO-ySiO2陶瓷的烧结特性、相组成及介电性能的影响.结果表明:掺杂Al203的ZnO-SiO2陶瓷主晶相为Zn2SiO4,并有锌尖晶石ZnAl204第2相生成.掺杂Al203可使ZnO-S
【机 构】
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浙江大学材料与化学工程学院,杭州 310027
【出 处】
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中国电子学会第十五届电子元件学术年会
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研究了Al2O3掺杂对ZnO-ySiO2陶瓷的烧结特性、相组成及介电性能的影响.结果表明:掺杂Al203的ZnO-SiO2陶瓷主晶相为Zn2SiO4,并有锌尖晶石ZnAl204第2相生成.掺杂Al203可使ZnO-SiO2陶瓷的烧结温区范围扩展到50℃左右,并降低陶瓷烧结温度80-100℃.随.Al2O3掺杂量的增大,陶瓷的介电常数εr变化不明显,品质因数Q×f因第2相ZnAl2O4的生成有所下降.掺杂1wt％Al203的ZnO-0.5SiO2陶瓷在1325℃烧结2h获得较佳性能:εr=6.35,测试频率为11GHz时Q×f=42500GHz,τf=-48.4ppm/℃.
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