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基于GaAs PIN二极管的物理工作机理,阐述了一种新型等效电路模型和相应的模型参数提取方法。该等效电路模型创造性地将GaAs PIN二极管分成了三部分,即P+N-结,本征区和N-N+结,并运用物理分析,对各部分进行建模,将三部分有机地统一起来,利用简易有效的提取方法实现了参数提取。通过制作多组不同尺寸的GaAs PIN二极管,利用实验验证了模型的合理性。模型准确反映了GaAs PIN二极管在正向和反向工作下的交流特性。