【摘 要】
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近年来,宽禁带半导体因其强抗干扰能力、易于集成、耐高温高压等优点,在紫外探测领域展现了强大的潜力,然而许多宽禁带半导体又有吸收率、量子效率过低等缺点,难以真正应用于
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近年来,宽禁带半导体因其强抗干扰能力、易于集成、耐高温高压等优点,在紫外探测领域展现了强大的潜力,然而许多宽禁带半导体又有吸收率、量子效率过低等缺点,难以真正应用于紫外探测。表面等离子激元效应(SurfacePlasmon,SP)是由光子和金属表面电子相互作用引起的一种电磁波模式。借由表面等离子激元效应,电磁场的能量可以有效地转化为金属表面电子的集体振动能,从而有效地解决吸收率和量子效率低下的问题。根据表面等离子激元的基本原理,金属铝的本征共振频率在240nm左右,属于日盲紫外波段,为了成功激发表面等离子激元效应,本文采用对金属薄膜高温退火的方式制备金属铝纳米颗粒,并研究了不同薄膜厚度、不同退火温度、不同退火时间等条件下铝纳米颗粒的基本形貌,及相应的日盲紫外探测器的性能。结果显示,随着温度的提升,颗粒形貌愈发规则,但是金属铝的氧化反应也越明显。薄膜的最佳退火时间和薄膜厚度分别为1小时和25nm。将不同厚度薄膜制备的颗粒分别应用于基于碳点的日盲紫外探测器,结果显示,25nm对照组器件性能提升最大,与无铝颗粒器件对比,器件的开关比由40提升至80,量子效率由0.2A/W提升至0.4A/W。
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