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本文通过磁控共溅射Mg,Ni靶制备了100 nm厚的MgxNi100-x薄膜,然后通过磁控溅射Pd靶在MgxNi100-x薄膜上覆盖10 nm厚的Pd.在磁控共溅射制备Mg84Ni16/Pd与Mg48Ni52/Pd薄膜的过程中直接原位生成了Mg2Ni andMgNi2相.在0.1 MPa氢气,298 K下研究了薄膜的储氢性能.与Mg94Ni6/Pd,Mg48Ni52/Pd薄膜相比,Mg84Ni16/Pd薄膜在45s内即吸氢完毕,表现出最快的吸氢动力学.在室温下测试了MgxNi100-x/Pd薄膜的电化学性能.Mg84Ni16/Pd薄膜在第一个循环就已经活化,Mg84Ni16/Pd薄膜的最大放电容量为482.7 mAh g-1,在这三个薄膜中是最高的.