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斜切蓝宝石衬底上N面GaN材料的MOCVD生长研究
【机 构】
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西安电子科技大学微电子学院,宽带隙半导体技术重点学科实验室,西安710071
【出 处】
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第十二届全国MOCVD学术会议
【发表日期】
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2012年4期
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