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某红外CCD焦平面芯片漏电流大是成品率低的一个主要原因，该种芯片面积大，面积达1.1cm×1.7cm，常规方法进行失效定位存在很大的困难。本文利用液晶方法对其进行了失效定位分析和失效机理分析，发现金属互连线未刻开是造成漏电的原因；另外，还发现生产线中测时对芯片造成了机械擦伤，造成金属互连。
CCD芯片漏电的液晶失效定位分析
【摘 要】
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某红外CCD焦平面芯片漏电流大是成品率低的一个主要原因，该种芯片面积大，面积达1.1cm×1.7cm，常规方法进行失效定位存在很大的困难。本文利用液晶方法对其进行了失效定位分析和
【机 构】
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信息产业部电子五所(广州)
【出 处】
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第八届全国可靠性物理学术讨论会
【发表日期】
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1999年期
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