【摘 要】
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这篇文章研究了温度对压电薄膜谐振器(FBAR)拉伸模态下频率特性的影响.首先基于压电材料的压电弹性方程,推出FBAR在拉伸模态下的振动方程并设定其自由振动的边界条件.然后设
【机 构】
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宁波大学工程力学系,宁波315211
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这篇文章研究了温度对压电薄膜谐振器(FBAR)拉伸模态下频率特性的影响.首先基于压电材料的压电弹性方程,推出FBAR在拉伸模态下的振动方程并设定其自由振动的边界条件.然后设定含有未知量的振动方程解的形式,通过边界条件确定其中的待定常数.得到了FBAR的串联和并联谐振频率,讨论了温度对FBAR的谐振频率,带宽和有效机电耦合系数的影响.文中给出了一个数值算例,显示了温度效应的影响.这个结果对FBAR的应用有一定的指导意义.
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