【摘 要】
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卢瑟福背散射谱(RBS)已经被广泛用于不同种固体材料的近表面区域的分析工作.RBS的优点在于其测量的快速性、获得样品表面下的原子分布而不损伤样品和结论数字性.到目前为止,
【出 处】
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'2001全国荷电粒子源粒子束学术会议
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卢瑟福背散射谱(RBS)已经被广泛用于不同种固体材料的近表面区域的分析工作.RBS的优点在于其测量的快速性、获得样品表面下的原子分布而不损伤样品和结论数字性.到目前为止,许多实验室已经通过简化散射过程和降低探测离子的进程速度的方法发展了适合的近似方法.然而,为了快速准确地分析,计算机模拟成为从初级谱中获得定量和扩展的信息的最有效途径.近来,许多用于多元素多层结构和杂质分布的多功能计算机程序出现.
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