【摘 要】
：
非晶硅薄膜在平面显示,硅薄膜太阳电池,HIT结构晶体硅太阳电池等领域均有重要的作用,其表面态的钝化对提高其性能至关重要,是当前研究的重点.本文采用PECVD技术沉积本征非晶
【机 构】
：
浙江大学材料科学与工程学系,硅材料国家重点实验室,310027
论文部分内容阅读
非晶硅薄膜在平面显示,硅薄膜太阳电池,HIT结构晶体硅太阳电池等领域均有重要的作用,其表面态的钝化对提高其性能至关重要,是当前研究的重点.本文采用PECVD技术沉积本征非晶硅薄膜,研究水蒸气热处理对薄膜钝化效果的影响.结果表明:即使在非常低的温度下对沉积的非晶硅薄膜进行水蒸气热处理,样品的少子寿命仍有显著的提升,在210℃、90min条件下,非晶硅薄膜的钝化效果最好.C-V测试表明水蒸气热处理能明显降低界面态密度,提高界面质量;同时薄膜的固定电荷剧烈下降,说明薄膜中的缺陷得到了很好的改善.光谱椭偏测试表明薄膜的厚度和折射率都发生了改变,间接证明水蒸气热处理过程中氧进入薄膜体内,饱和了薄膜中的悬挂键等缺陷.
其他文献
控制铸造多晶硅初始生长阶段的晶粒形貌和生长方向,是提升多晶硅质量的重要方法.研究发现,硅原料熔化后,通过引晶形核方法,使用硅的异质或同质籽晶在硅晶体生长初期提供形核
一、发生规律:为害黄花菜的蚜虫主要有萝卜蚜和桃蚜,甘蓝蚜次之。萝卜蚜在北方一般以卵或无翅胎生雌蚜随采收蔬菜进入菜窑越冬,有的也可以卵在秋白菜及留种株上越冬;桃蚜一
采用陷光技术可以在减小薄膜太阳电池物理厚度的同时,有效提高电池的光吸收.以α-Si薄膜太阳电池为例,设计出了一种可实现宽光谱陷光的复合陷光结构:在Ag背电极与硅薄膜之间
金堂早大蒜是目前襄樊市蒜薹上市最早的品种,提高其蒜薹产量是获得高效益的关键。667平方米要产蒜薹250～300千克,必须抓好以下技术要点: 1.适时播种 金堂早大蒜主要用来作早
黄花菜切根分芽繁殖法,可提高繁殖倍数,成活率高,花期早,花蕾多。主要技术如下: 一、取挖母株 一年四季都可进行,以春秋最适宜。把种植五年以上的黄花菜植株或密度过大须间
据美国《防务内参》近日报道,在美国防部制订的机密版《战略规划指南》中,美军计划2008年至2013年至少投入1000亿美元用于研制非致命性武器。
According to the U.S. “Defe
张淑德老人生于1907年,住在广西壮族自治区,是个远近闻名的寿星。2005年初,她被评为第六届全国健康老人。老
Zhang Shu-de, born in 1907, lives in Guangxi Zhuang Autonom
研究了铁镓对在锗掺杂的直拉硅中的动力学行为,得到铁镓对的生成和分解激活能分别为0.63和1.09eV,与普通直拉硅中的结果基本相一致,但指前因子比后者中的大一倍.同时,还通过
随栽培年限延长,无性繁殖草莓品种退化现象明显,病害发生重,产量降低,花芽分化数量减少,生育期提前等。为提高单产、效益及加工品质,1991年如皋市农业局、如皋市草莓协会与
物理冶金法提纯硅(UMG-Si)往往含有高浓度的硼和磷,本文采用直拉法生长了两根硼磷不同浓度掺杂补偿的硅单晶体,并通过二次离子质谱法(SIMS)和微波光电导衰减法(MW-PCD)测试不