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Synthesis of Nanoscale Structures in Silicon at A Short-Pulse Implantation of Carbon Ions
【作 者】
：
【机 构】
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Institute of High-Technology Physics, National Research Tomsk Polytechnic University, Tomsk, Russian
【出 处】
：
The 17th International Conference on Surface Modification of
【发表日期】
：
2011年期
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