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论文研究了升温速度对微波烧结ITO靶材的影响，升温速度为10～65℃/min.结果表明：当升温速度为10～45℃/min时，微波烧结可以获得相对密度99％左右的ITO靶材，且快速升温可以使晶粒更为细小，升温速度达65℃/min时，制备的靶材出现开裂现象，说明升温速度过快不利于靶材的致密化.升温速度为45℃/min时，制备的靶材综合性能最好，其相对密度达到99.58％，与商用靶材(99.72％)几乎相当;晶粒大小为4.06μm，远小于商用靶材(10.8μm)，且晶粒大小也较均匀，不同升温速度下制备的ITO靶材均无SnO2相析出，仍是单一的固溶体相，不存在第二相。