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利用雾化沉积技术制备了Ｔｉ－６Ａｌ－４Ｓｎ－２Ｚｒ－１Ｍｏ－０．３Ｓｉ－１．０Ｎｄ（质量分数）钛合金饼材，利用透射电子显微镜研究雾化沉积饼材的显微组织及热处理后的变化。结果表明，沉积饼材的显微组织为取向不同的一束束α’板条和分布在束内近球状的正交结构２Ｎｄ〈，５〉Ｓｎ〈，４〉颗粒，经６００℃／１ｈ处理，互相平行的α’板条消失，出现了与α’板条束尺寸相近的带状区域，且区域内析出了相交成６０°角的α相短条，同时带区边界处的β相区也加宽。随着温度的升高，带状区域之间的边界变得更宽，区域内的短条α相聚集长大。当温度达到９５０℃时，β相区内析出条状的α相。在８００℃以上处理的样品中观察到片状的沉淀相，经标定为六角结构（Ｔｉ，Ｚｒ）〈，６〉Ｓｉ〈，３〉。