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在本研究中,以尺寸小于100nm的聚合物聚集体的凝聚机理为研究对象.这种聚合物聚集体作为光致抗蚀材料在平板印刷工艺中使用.采用原子力显微镜(AFM)观察了材料表面聚合物聚集体的凝聚特性,表征了光致抗蚀图案侧面聚合物聚集体的凝聚行为.
旋转干燥过程中纳米尺寸聚合物聚集体的凝聚
【摘 要】
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在本研究中,以尺寸小于100nm的聚合物聚集体的凝聚机理为研究对象.这种聚合物聚集体作为光致抗蚀材料在平板印刷工艺中使用.采用原子力显微镜(AFM)观察了材料表面聚合物聚集体的凝聚特性,表征了光致抗蚀图案侧面聚合物聚集体的凝聚行为.
【机 构】
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长冈技术大学电气工程系(日本新滹长冈)
【出 处】
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2004北京国际粘接技术研讨会
【发表日期】
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2004年6期
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