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高电荷态离子与原子的相互作用机制得到了广泛的研究,这对于离子束改性以及材料的表面分析具有重要的应用价值.基于中国科学院近代物理研究所320kV高电荷态离子物理综合研究平台,我们系统研究了在炮弹与靶原子序数之比在0.07-3.86范围内,近玻尔速度能区的高电荷态离子诱导的Si固体靶K壳层X射线的产生截面与炮弹原子序数的依赖关系,并对其进行了分析讨论.