Au/Cu多层膜/单晶硅复合系统的断裂行为

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【摘要】

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【作者】

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李远平张广平

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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多层膜断裂硅塑性变形纳米尺度

【基金项目】

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国家自然科学基金(No．50571103);科技部“973”计划(No．2004CB619303)的支持。

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