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质量负载(R)会引起AT切割石英谐振器的一个等效切割角的改变.这个改变和电极的厚度以及电极同石英极板之间的热膨胀系数有关.本文中提出了一种具有双层金属的新型的电极结构.通过两种金属的温度补偿效应,R的影响会被减少.关于金和钛的模拟结果表明由它们构成的电极是一种不错的选择.
一种新型UHF石英谐振器电极结构
【摘 要】
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质量负载(R)会引起AT切割石英谐振器的一个等效切割角的改变.这个改变和电极的厚度以及电极同石英极板之间的热膨胀系数有关.本文中提出了一种具有双层金属的新型的电极结构.
【机 构】
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南京大学声学研究所,南京,210093
【出 处】
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全国第一届压电和声波理论及器件技术研讨会
【发表日期】
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2004年期
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