高可靠性薄膜微带基片金属化工艺

来源 :第六届全国固体薄膜学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shinemun
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采用多层结构,实现高可靠性薄膜微带基片金属化,引入化学镀镍层作为中间焊接阻挡层,提高微波基片工作可靠性;表面金属采用Sn-Bi合金镀层,可焊性优异。与传统的Ni-Cr+Au金属化系统相比,可靠性、耐焊性得到极大提高,用于微波固态电子部件薄膜微带基片金属化。
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