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计算机模拟电子散射及显影剖面研究

来源 :第十届全国半导体集成电路、硅材料学术会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xxlxxl123

【作 者】

：

梁俊厚 崔铮 

【机 构】

：

科学院微电子中心(北京)

【出 处】

：

第十届全国半导体集成电路、硅材料学术会

【发表日期】

：

1997年期

【关键词】

：

计算 机模拟 电子散射 显影 

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