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目的：本文的研究对象是(Ni75Fe25)69(ZnO)31纳米颗粒薄膜，重点研究薄膜的厚度对薄膜矫顽力Hc、各向异性场Hk、电阻率ρ以及高频性质的影响。结论：(Ni75Fe25)69(ZnO)31纳米颗粒薄膜不仅实现了优异的高频软磁性质，并且对磁性参量随薄膜的厚度变化做了系统的研究，对该薄膜材料在高频器件上的应用具有借鉴作用。