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强电负性的卤素基等离子体是有望替代多晶硅电池片表面湿法制绒的干法制绒技术，然而卤素基容性耦合等离子体特性以及多晶硅的干法制绒机制机制仍不清楚。
卤素基容性放电的实验诊断及其在多晶硅表面制绒研究
【摘 要】
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强电负性的卤素基等离子体是有望替代多晶硅电池片表面湿法制绒的干法制绒技术，然而卤素基容性耦合等离子体特性以及多晶硅的干法制绒机制机制仍不清楚。
【机 构】
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苏州大学物理科学与技术学院 苏州市十梓街一号 215006
【出 处】
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中国物理学会2013年秋季学术会议
【发表日期】
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2013年期
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