粉末靶脉冲磁控溅射法制备MoS2CrB2固体润滑硬质涂层

来源 :第十一届全国表面工程大会暨第八届全国青年表面工程学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：szhzm4158

【摘要】

：

按铬及钼原子比1：1比例将二硼化铬及二硫化钼均匀混合的粉末作靶体.脉冲磁控溅射法在314不锈钢及硅基体上同时制备混合成份涂层.分别用扫描电子显微镜、X射线衍射分析涂层形貌及相结构,表面形貌轮廓仪测量涂层厚,纳米压痕仪检测涂层纳米硬,摩擦磨损实验机测量涂层摩擦系数.结果表明,涂层致密、无缺陷,其晶体择优取向分别为硼化铬的(111)及二硫化钼的(200).随脉冲频率增高,涂层的沉积速率降低,与有效沉

【作者】

：

赵志伟周艳文高健波张鑫郭媛媛

【机构】

：

辽宁科技大学材料与冶金学院 (中国鞍山114051

【出处】

：

第十一届全国表面工程大会暨第八届全国青年表面工程学术会议

【发表日期】

：

2016年4期

【关键词】

：

脉冲磁控溅射粉末靶固体润滑摩擦磨损涂层

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