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本文采用溶胶-凝胶法制备得到同时具有超疏水性能和高透过率的SiO2减反膜.将适量的六甲基二硅氮烷(HMDS)添加到碱性催化的二氧化硅溶胶中，得到HMDS改性溶胶.使用浸渍-提拉法在基底上镀出的薄膜同时具有超疏水性能和高透过率.薄膜的性能可以由傅里叶变换红外光谱仪、UV-Vis-NIR分光光度计、Film Wizard 32膜系设计软件和接触角测试仪进行测量.实验结果表明：当HMDS与TEOS的摩尔比为2∶1时，薄膜的水接触角可达151.5°，透过率能达到99.7％；此外，在长波段，薄膜折射率可以达到1.12.