等离子体辅助电子束蒸发反应沉积技术PIA-EB-Hf法制备的单层HfO2激光薄膜残余应力与化学计量比的调控

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【摘要】

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【作者】

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付朝丽杨勇马云峰黄政仁

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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二氧化铪等离子体辅助电子束蒸发激光损伤残余应力化学配比

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