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脉冲激光沉积制备铪锆氧铁电薄膜性能研究
【机 构】
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电子薄膜与集成器件国家重点实验室 电子科技大学 成都 610054
【出 处】
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第十五届全国电介质、材料与应用学术会议
【发表日期】
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2014年期
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