【摘 要】
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采用组合套镀的方法在布里一珀珞膜系结构的间隔层上形成若干台阶,在一个基片上制备了具有16个光谱通道的微小型集成滤光片.其光谱分布在波长为2.0～2.5微米的短波红外区域.各
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所 上海 200083
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采用组合套镀的方法在布里一珀珞膜系结构的间隔层上形成若干台阶,在一个基片上制备了具有16个光谱通道的微小型集成滤光片.其光谱分布在波长为2.0～2.5微米的短波红外区域.各单个通道的有效通光区域的宽度为210微米,通道间有30微米的挡光过渡带.峰值透过率大于60％,光谱通道的半功率带宽为8～14nm.
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