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辉光放电质谱(Glow Discharge Mass Spectrometry,GDMS)是对金属和半导体材料中痕量以及超痕量元素分析的最有效手段之一[1].GDMS 采用直接固体进样,因此前处理简单,另外还有基体效应低、灵敏度高、检出限低(pg/g)、分辨率高(10000)、动态范围宽(12 个数量级)等优势.