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用中空阴极磁控溅射的方法，研究人员制备了氮化碳薄膜。X射线光电子能谱红外光谱研究表明，膜中含有两种相的氮化碳。第一种相对应的结构为C<,2>N，碳以sp杂化形式和风原子化合，而第二种相对应的结构为β-C<,3>N<,4>，碳原子以sp<3>杂化方式和氮化合。
中空阴极磁控溅射法制备氮化碳薄膜的光电子能谱及红外光谱研究
【摘 要】
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用中空阴极磁控溅射的方法，研究人员制备了氮化碳薄膜。X射线光电子能谱红外光谱研究表明，膜中含有两种相的氮化碳。第一种相对应的结构为CN，碳以sp杂化形式和风原子化合，而第二
【机 构】
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大学分析测试中心
【出 处】
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第三届中国功能材料及其应用学术会议
【发表日期】
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1998年期
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