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基于倾斜载频的非零位干涉术
基于倾斜载频的非零位干涉术
来源 :第十七届全国光学测试学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yulekan
【摘 要】
:
自由曲面元件能极大提高光学系统分辨率及成像品质,在国防和民用工业中有重大需求。由于其表面形状自由复杂,其三维形貌高精度测量极难。现代制造领域研制该类元件,需要耗费
【作 者】
:
沈华
【机 构】
:
南京理工大学工业和信息化部先进固体激光重点实验室江苏南京210094;南京理工大学电子工程与光电技术学院江苏南京210094
【出 处】
:
第十七届全国光学测试学术交流会
【发表日期】
:
2018年8期
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自由曲面元件能极大提高光学系统分辨率及成像品质,在国防和民用工业中有重大需求。由于其表面形状自由复杂,其三维形貌高精度测量极难。现代制造领域研制该类元件,需要耗费巨大的人力、财力及时间,严重影响整个系统项目的进度。
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