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磁控溅射氧化锌/掺铝氧化锌薄膜包覆LiCoO2复合电极的研究

来源 :第十八次全国电化学大会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dingyi

【作 者】

：

戴新义 周爱军 王丽平 许进 师晓力 李晶泽 

【机 构】

：

电子科技大学微电子与固体电子学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川,成都,610054

【出 处】

：

第十八次全国电化学大会

【发表日期】

：

2015年期

【关键词】

：

磁控溅射 掺铝氧化锌薄膜 包覆 LiCoO2 

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