用Cat-CVD方法制备多晶硅薄膜与结构分析

来源 :2006中国平板显示学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xiazibin

【摘要】

：

以金属钨为催化热丝,采用热丝催化化学气相沉积,在300℃的玻璃衬底上沉积多晶硅薄膜.研究了H2稀释率、钨丝与衬底间的距离和反应室气体压力等沉积参数对成膜的影响,通过XRD分析确定本实验系统的最佳的多晶硅成膜条件.通过接触式膜厚仪测量,计算出薄膜生长速率为0.6nm/s.通过对最佳成膜条件下制备的多晶硅薄膜进行逐层XRD和SEM测试,分析了薄膜的生长机制,认为薄膜生长是分步成核,成核后沿(111)面

【作者】

：

张玉高博李世伟付国柱高文涛荆海

【机构】

：

中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,北方液晶工程研究开发中心,吉林,长春,130033 吉林

【出处】

：

2006中国平板显示学术会议

【发表日期】

：

2006年4期

【关键词】

：

多晶硅薄膜催化化学气相沉积沉积参数逐层分析分步成核

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

其他文献

论山西焦化工业的可持续发展

本文对山西焦化工业的可持续发展进行了论述。文章介绍了山西焦化行业的基本情况，分析了山西焦化行业目前面临的问题，对山西焦化行业可持续发展进行了探讨。

会议

焦化工业焦炭价格煤炭经济

坚持科学发展优化增长方式实现我国焦化行业的可持续发展

本文对坚持科学发展优化增长方式实现我国焦化行业的可持续发展问题进行了论述。文章分析了当前中国炼焦行业面临的形势，阐述了我国炼焦行业面临的主要问题与任务。

会议

焦化产业焦炭市场煤炭经济

二甲醚合成技术进展

本文对二甲醚合成技术进展情况进行了论述。文章在分析两步法和一步法合成二甲醚各自技术优势的基础上，认为从目前的技术发展趋势来看，一步法具有流程短、设备效率高、操作压力低和CO单程转化率高等特点，使得设备投资费用和操作费用大大减少，合成二甲醚的生产成本较两步法大幅度降低。

会议

煤炭化学合成燃料二甲醚

煤液化合成油及煤基甲醇发展的几点讨论

本文对煤液化合成油及煤基甲醇发展进行了探讨。文章围绕煤液化技术研发与产业化、煤基甲醇及下游产品技术发展和产业化、煤种、煤质与煤化工技术等问题进行了论述。

会议

煤炭化工煤炭液化煤基甲醇

肥化并举,做强主业,产品成链,循环增效——天脊集团煤化工产业发展蓝图

本文对天脊集团肥化并举,做强主业,产品成链,循环增效的情况进行了论述。文章介绍了该企业现状和发展环境及企业发展思路，阐述了企业煤化工产业发展蓝图和企业煤化工产业实施规划。

会议

煤炭经济煤炭化工化肥制造

不可通球管道的在线检测

本文主要包括以下几个主题:1.介绍海上平台及FPSO油轮的开工前试运行。2.不可通球管道的在线检测技术的最新发展。3.在线信息能提供什么,以及如何处理这些数据。

会议

不可通球管道在线检测工具管道检测

抓住机遇,加快调整,促进转型努力实现煤炭工业全面协调可持续发展

加快结构调整和经济转型是煤炭工业一项十分紧迫的任务，本文讨论了应抓住当前发展的有利时机,加快结构调整,促进煤炭经济转型。

会议

煤炭工业可持续发展结构调整经济转型

应用于LCoS的高反射率扭曲向列相常白显示混合模式

扭曲向列相混合模式(Mixed mode Twist Nematic)通过旋光效应、双折射效应两种效应同时作用对由偏振分光片PBS(polarized beam splitter)、扭曲向列相液晶层、反射电极组成的硅基液晶投影显示(LCoS projection Display)进行偏振光的空间调制.本文用Muller 4×4矩阵以及琼斯2×2 矩阵方法描述偏振光在液晶中偏振态的变化,用Mulle

会议

硅基液晶偏振转换效率Muller矩阵扭曲向列相混合模式

建设资源节约型企业为我国能源安全和可持续发展贡献力量——在“科博会中国能源战略高层论坛”上的演讲

我国正处于全面建设小康社会的关键时期,实现"十一五"规划和全面建设小康社会的宏伟目标,必须全面贯彻落实科学发展观,建立面向全球的能源发展战略,为国民经济持续健康发展提供稳定、经济、清洁、可靠、安全的能源保障,促进我国经济社会全面协调发展.

会议

节约型企业能源安全可持续发展

高对比度连续灰度级聚合物网络稳定铁电液晶器件

采用柔性的双官能团聚合物单体二丙烯酸酯NPGDA,制备了具有高对比度、连续灰度级的聚合物网络稳定铁电液晶器件.掺杂二丙烯酸酯NPGDA单体含量为2wt％的铁电液晶在SmA*相用UV光照,不施加电场形成了具有各向异性、沿着基板摩擦方向延伸的聚合物网络.该器件实现了无阈值V字型电光曲线,器件对比度达到189:1.由于聚合物网络体锚定的引入,提高了铁电液晶器件的抗震性能.

会议

聚合物网络稳定铁电液晶柔性双官能团单体高对比度连续灰度级

用Cat-CVD方法制备多晶硅薄膜与结构分析

与本文相关的学术论文