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ZnO/SiOSi结构的SAW滤波器因基能够和其它电路集成而在RF领域受到越来越多的关注。该文介绍了该结构的工作原理，给出了在设计过程中的衬底参数选择，并对叉指结构进行了设计，最后用Matlab中的SIMULINK工具对镜像阻抗连接结构进行了特性模拟，并得到了其频响曲线。
基于ZnO/SiO<,2>Si结构的SAW射频滤波器研究
【摘 要】
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ZnO/SiOSi结构的SAW滤波器因基能够和其它电路集成而在RF领域受到越来越多的关注。该文介绍了该结构的工作原理，给出了在设计过程中的衬底参数选择，并对叉指结构进行了设计，最后
【出 处】
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第一届全国纳米技术与应用学术会议
【发表日期】
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2000年期
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