XPS技术在IGZO非晶薄膜组份研究中的应用

来源 :第十二届全国青年分析测试学术报告会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lk123ad

【摘要】

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采用XPS技术分析了不同气体制备的IGZO薄膜在退火前后的各元素组分的变化情况,发现IGZO薄膜中氧元素的不同化学状态含量与溅射气体以及退火工艺密切相关.利用XPS对每组IGZO样

【作者】

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龚力张耿谢方艳程蕾张卫红陈建

【机构】

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中山大学测试中心东莞理工大学

【出处】

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第十二届全国青年分析测试学术报告会

【发表日期】

：

2012年7期

【关键词】

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非晶金属氧化物薄膜溅射工艺成分分析 X射线光电子能谱技术

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采用XPS技术分析了不同气体制备的IGZO薄膜在退火前后的各元素组分的变化情况,发现IGZO薄膜中氧元素的不同化学状态含量与溅射气体以及退火工艺密切相关.利用XPS对每组IGZO样品的价带谱进行采集和分析,观察到氧含量对IGZO薄膜价带顶的位置有直接的影响,这对IGZO-TFT的电学性能以及工作稳定性具有重要影响.

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