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首先介绍了极紫外与软x射线多层膜光学技术的研究意义和主要进展.然后,介绍了作者在软X射线多层膜分束镜和X射线超反射镜方面所做的研究,及相应的实验结果。
极紫外与软X射线多层膜技术
【摘 要】
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首先介绍了极紫外与软x射线多层膜光学技术的研究意义和主要进展.然后,介绍了作者在软X射线多层膜分束镜和X射线超反射镜方面所做的研究,及相应的实验结果。
【机 构】
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同济大学精密光学工程技术研究所,上海,200092
【出 处】
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2005年全国光学技术及其应用研讨会
【发表日期】
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2005年期
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