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本文采用焦平面探测器均匀性作为衡量InSb芯片承受应力的方法,通过工艺改进有效地降低了应力水平,提高了128×128 InSb焦平面探测器的均匀性,取得了响应非均匀性为3.0％的结果.
应力制约的InSb焦平面探测器均匀性
【摘 要】
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本文采用焦平面探测器均匀性作为衡量InSb芯片承受应力的方法,通过工艺改进有效地降低了应力水平,提高了128×128 InSb焦平面探测器的均匀性,取得了响应非均匀性为3.0％的结果.
【机 构】
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中国空空导弹研究院,河南,洛阳,471009
【出 处】
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2007年红外探测器及其在系统中的应用学术交流会
【发表日期】
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2007年11期
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